新松半導體正在真空機械手領域掀起一場國產替代的風暴。

在半導體工藝整機裝備中，最核心的零部件就是真空機械手及集束型設備，它們作為晶圓傳輸設備，被廣泛應用于晶圓制造與封裝測試等全工藝流程產業鏈中。

新松半導體總經理程龍表示，真空機械手系列產品的自主可控將進一步緩解半導體整機裝備的“卡脖子”問題。據了解，新松半導體是創業板上市公司機器人（新松機器人）的控股子公司，于2023年2月份成立。

現階段，新松半導體的主要產品是真空類晶圓傳輸產品和大氣類晶圓傳輸產品，前者包括真空機械手、真空傳輸平臺及部件，后者包括大氣潔凈機械手等。

從市場來看，中國真空機械手市場一度被美國公司壟斷，該領域技術門檻極高，但新松半導體正在這一領域掀起一場國產替代的風暴。“我可以非常自豪地說，目前在技術領域，新松機器人和美國公司已經沒有斷層式差距，甚至在逐步迎頭趕上。更重要的是，我們團隊400多人平均年齡還不到30歲，是非常年輕的團隊，潛力巨大。”程龍表示。

得益于技術追趕，新松機器人吸引了國家集成電路產業投資基金、北方華創、中微半導體、拓荊科技、華海清科等戰略投資者。綁定戰略合作客戶，促成了新松半導體與戰略客戶從業務到資本的深度合作，形成產業鏈協同發展效應。以此為契機，新松半導體系列產品的國產化替代和市場推廣也得以加速。

程龍提到，盡管新松半導體自主研制真空機械手及集束型設備已達到國際同等水平，部分指標還優于國外設備，但是在一致性和可靠性方面還有進一步提升的空間。在市場方面，半導體行業研發投入大、試錯成本高、驗證周期長、國內客戶對國產供應鏈的信心不足等客觀問題仍在阻礙國內企業進一步開拓市場。

展望未來，程龍對新松半導體超越海外公司，拿下國內市場份額第一充滿自信。他說：“我們希望在2027年到2028年，在中國能拿到第一，我們整個團隊的目標非常清晰，現在就是一路狂奔。”

校對：冉燕青