中科儀干式真空泵已實現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)核心部件國產(chǎn)化多項零的突破。

在半導(dǎo)體制造這個“納米級微觀手術(shù)”中，干式真空泵扮演著至關(guān)重要的角色。干式真空泵能快速、干凈地把芯片加工腔室里的空氣和各種氣體“抽走”，為芯片制造提供工藝所必需的潔凈真空環(huán)境，完成薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等超微加工。

在新三板掛牌的中科儀，依托高真空、超高真空和超潔凈真空技術(shù)優(yōu)勢，攻克了一系列產(chǎn)業(yè)共性、關(guān)鍵技術(shù)難題，致力于研制開發(fā)先進(jìn)的干式真空泵、真空儀器設(shè)備，產(chǎn)品均達(dá)到國際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平，填補了國內(nèi)同類產(chǎn)品空白。

據(jù)了解，中科儀創(chuàng)建于1958年，其前身是中國科學(xué)院直屬事業(yè)單位，是中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備核心部件提供商及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，主營業(yè)務(wù)為干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。中科儀作為我國真空技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，組建了國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、真空技術(shù)裝備國家工程實驗室及國家企業(yè)技術(shù)中心，是國家級高新技術(shù)企業(yè)。

目前，中科儀干式真空泵已在國內(nèi)多家知名集成電路和光伏巨頭企業(yè)通過工藝驗證并批量使用，打破了歐美及日韓企業(yè)對同類產(chǎn)品的長期壟斷地位，實現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)核心部件國產(chǎn)化多項零的突破。

校對：冉燕青