證券時報e公司訊,英杰電氣在機構調研時表示,截止到2023年11月底,公司射頻電源的訂單已經有9000多萬,其中絕大部分都是半導體設備端的電源訂單,還有少部分在其他行業。從訂單數量級別上看,可以說已經進入了批量供應階段。另外,公司目前用于topcon的濺射電源已經有了一定的量,也是最近幾個月開始上量的。截止到2023年11月底,有4000萬左右的訂單,相比之前的幾百萬,在訂單上有了較大的突破。